气流运动对洁净室有什么影响呢?
日期:2016/11/4 17:17:07
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类型:行业资讯
洁净室的气流会影响到洁净度,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配,进而影响洁净度。洁净室选择恰当稳定的气流很重要。洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素。一般洁净室气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度,但运转成本的增加也会增加。
洁净室洁净度要达到稳定效果,均一气流之保持是一大重要因素。洁净室均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会沿着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。如垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一。目前一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响洁净室的气流因素,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,也应列入影响因素。生产操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,洁净室工作台因而将受到污染,产品良好率也会降低。满足洁净室要求的洁净度水准应以最适当的风速供应,达到经济性效果。